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2026-08-21
按通道配置、並行測試設置、列表掃描、常見故障排查的順序,說明TH511雙通道的操作方法和通道間幹擾等問題的處理。
TH511標配2個通道,兩個通道可以獨立配置測試參數,也可以同步觸發並行測量。多芯模組測試時,兩個通道分別接模組內的兩顆芯片,一次觸發同時完成兩路測量。

TH511的兩個通道參數分別存儲在獨立的程序文件中。通道1設置測試頻率1MHz、VGS=0V、VDS=100V;通道2可以設置完全不同的參數。切換模組型號時,調用對應的程序文件,兩個通道的參數同時加載。
配置步驟:進入通道設置菜單,選擇通道1或通道2,分別設置測試頻率、VGS、VDS和測量參數。設置完成後保存為程序文件。
兩個通道配置完成後,選擇並行測試模式。儀器按設定的觸發方式同時啟動兩個通道的測量,測量結果同屏顯示。觸發方式支持內部觸發、外部觸發和HANDLER觸發。
列表掃描模式最多支持50個掃描點,每個點可單獨設置頻率、Vg、Vd和分選上下限。在多芯模組測試中,如果模組內各芯的測試條件不同,可以用列表掃描逐芯設置不同的Vg/Vd組合,儀器按列表順序依次測量。
現象 | 可能原因 | 處理方法 |
通道2無讀數 | 通道未啟用或參數未配置 | 檢查通道啟用狀態和程序文件 |
兩通道讀數差異大 | 通道間未做一致性校準 | 用同一標準件驗證兩通道,執行通道一致性校準 |
並行測試時相互幹擾 | 測試夾具屏蔽不足 | 檢查夾具接地和屏蔽,縮短測試線纜 |
列表掃描某點無數據 | 該點Vg或Vd設置超出範圍 | 檢查掃描點參數是否在量程內 |
Crss讀數在高頻下為負值 | 高頻寄生參數影響 | 確認CrssPlus功能已開啟 |
通信命令無響應 | 接口參數錯誤 | 檢查RS232/USB/LAN連接和SCPI配置 |
測試夾具定期清潔觸點。兩個通道的測試線纜分開走線,避免交叉幹擾。校準數據定期備份。按年安排LCR模塊的計量校準。
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